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发明名称 Traveling carrier system and method of conrolling the same
摘要
申请公布号 GB9714976(D0) 申请公布日期 1997.09.24
申请号 GB19970014976 申请日期 1997.07.16
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人
分类号 B66F7/06;B61B3/00;B66C11/12;B66C13/06;H01L21/677 主分类号 B66F7/06
代理机构 代理人
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