具有活动轭形件和隐藏扭铰件的数字式空间音光调制器

摘要

一种性能改进的DMD型空间光调制器(10)，象素镜(30)安装在轭形件(32)上，由此在多个结构之间产生静电吸引力(70，76，80，82)，第一，在举起的微镜(30)与举起的寻址电极(50，52)之间，其次，在轭形件(32)与其下的寻址电极(26，28)之间。象素(30)实现了大的寻址力矩、大的捕获力矩、大的复位力矩和比以前器件更大的寻址余量。基板寻址电极(26，28)上轭形件(32)的靠近实现了大的吸引力，由此象素不受寻址变换的影响，只需低的复位电压，且获得更快的切换速度。

主权项

1.一种空间光调制器，其特征在于，包括：a)基板；b)寻址电路组，包含靠近所述基板的第一部分和在所述基板上举起的第二部分；c)轭形件，支撑在所述寻址电路组第一部分上；d)至少一个扭铰件，与所述轭形件相连并支撑所述轭形件，使得所述轭形件可以偏转；以及e)一个象素，由所述轭形件举起和支撑，所述象素位于所述举起的寻址电路第二部分上。