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发明名称
KINZOKUFUKUGOZAIRYOOYOBIDENSHIKAIROYOBUHIN
摘要
申请公布号
JP2657610(B2)
申请公布日期
1997.09.24
申请号
JP19930176692
申请日期
1993.07.16
申请人
TOKYO TANGUSUTEN KK;ASAHI KASEI KOGYO KK
发明人
ICHIDA AKIRA;ARIKAWA TADASHI;HIRAYAMA NORIO;UJIMOTO YASUHIRO;MATSUSHITA TADAMI;KOBAYASHI SATOSHI
分类号
H01L21/52;H01L23/12;H01L23/14;H05K1/05;(IPC1-7):H01L23/14
主分类号
H01L21/52
代理机构
代理人
主权项
地址
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