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发明名称
PUROOBUKAADO
摘要
申请公布号
JP2657315(B2)
申请公布日期
1997.09.24
申请号
JP19890042670
申请日期
1989.02.22
申请人
TOKYO EREKUTORON KK
发明人
MURATA JUN
分类号
G01R31/26;G01R1/073;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66
主分类号
G01R31/26
代理机构
代理人
主权项
地址
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