| 摘要 |
Un conjunto de M x N espejos accionados de película delgada, y método para su fabricación, en donde el conjunto incluye una matriz activa, una capaaisladora, una capa de detención de grabado químico, y un conjunto de M x N estructuras actuadoras, cada una de las cuales presenta una punta en el extremodistal de la misma y una abertura de grabado que la atraviesa completamente, y además incluye un primer electrodo de película delgada con una raya o líneahorizontal, un miembro electromoviblede película delgada, un segundo electrodo de película delgada, un miembro elástico y un conducto. La raya olínea horizontal, la punta y la abertura de grabado están creadas con el objeto de incrementar la eficiencia óptica de cada uno de los espejos accionados depelícula delgada, facilitar la remoción del enjuague y permitir la remoción fácil de la película de sacrificio de película delgada, respectivamente. |
