| 发明名称 |
CONTROL MONITOR DATA LOGGING METHOD FOR SEMICONDUCTOR PRODUCING APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09252037(A) |
申请公布日期 |
1997.09.22 |
| 申请号 |
JP19960057867 |
申请日期 |
1996.03.14 |
| 申请人 |
KOKUSAI ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
NUNOMURA ICHIRO;TSUKADA KAZUNORI;OZAKI YUKIO |
| 分类号 |
H01L21/66;H01L21/02;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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