MANUFACTURING METHOD FOR SEMICONDUCTOR DEVICE,申请号JP19960103377-传众专利搜索

发明名称	MANUFACTURING METHOD FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号	JPH09252131(A)	申请公布日期	1997.09.22
申请号	JP19960103377	申请日期	1996.03.29
申请人	YAMAHA CORP	发明人	HIRAIDE SEIJI
分类号	H01L21/28;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/324;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78;H01L21/306	主分类号	H01L21/28
代理机构		代理人
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