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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH09252085(A) 申请公布日期 1997.09.22
申请号 JP19960059409 申请日期 1996.03.15
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 TANABE YOSHIICHI;FUJIWARA IKUO;NISHIBORI KAZUYA;KITAURA YOSHIAKI
分类号 H01L27/04;H01L21/822;(IPC1-7):H01L27/04 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
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