| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09251981(A) |
申请公布日期 |
1997.09.22 |
| 申请号 |
JP19960057970 |
申请日期 |
1996.03.14 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
KURIHARA KAZUAKI;SEKINE MAKOTO;OKUMURA KATSUYA |
| 分类号 |
B01J3/02;C23C16/50;C23F4/00;H01L21/203;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 |
主分类号 |
B01J3/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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