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发明名称
VAPOR GROWTH APPARATUS
摘要
申请公布号
JPH09249500(A)
申请公布日期
1997.09.22
申请号
JP19960056510
申请日期
1996.03.13
申请人
NEC CORP
发明人
MATSUNO SHUNICHI;KAKIMOTO YOSHIHIRO
分类号
C30B35/00;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/52;C30B25/14;H01L21/205;(IPC1-7):C30B35/00
主分类号
C30B35/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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