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发明名称 METHOD OF CLEANING SUBSTRATE FOR ELECTRONIC DEVICE
摘要
申请公布号 JPH09251972(A) 申请公布日期 1997.09.22
申请号 JP19960059357 申请日期 1996.03.15
申请人 TOSHIBA CORP;PURE RETSUKUSU:KK 发明人 KASHIWAGI MASAHIRO;ARIKADO TSUNETOSHI;MURAOKA HISASHI
分类号 H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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