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发明名称
METHOD FOR FORMING INSULATION OXIDE FILM
摘要
申请公布号
JPH09251995(A)
申请公布日期
1997.09.22
申请号
JP19950337950
申请日期
1995.11.30
申请人
OMI TADAHIRO
发明人
OMI TADAHIRO;MORITA MIZUHO
分类号
H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/316
主分类号
H01L21/316
代理机构
代理人
主权项
地址
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