发明名称 HEATING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH09251959(A) 申请公布日期 1997.09.22
申请号 JP19960085759 申请日期 1996.03.14
申请人 KOKUSAI ELECTRIC CO LTD 发明人 OZAKI KEITA
分类号 H01L21/22;H01L21/31;H01L21/324;(IPC1-7):H01L21/22 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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