| 发明名称 |
SPUTTERING DEVICE FOR OPTICAL DISK AND FILM FORMATION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09251673(A) |
申请公布日期 |
1997.09.22 |
| 申请号 |
JP19960058956 |
申请日期 |
1996.03.15 |
| 申请人 |
SHIN ETSU CHEM CO LTD |
发明人 |
SHIMIZU YOSHIMASA;EJIMA MASAKI;YAMAMURA KAZUICHI;FUKUSHIMA NORIYASU;SAITO MAKOTO;KOBAYASHI TOSHIMI |
| 分类号 |
G11B11/10;G11B7/26;G11B11/105;(IPC1-7):G11B7/26 |
主分类号 |
G11B11/10 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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