| 发明名称 |
CHARGED PARTICLE BEAM MACHINE HAVING CLEANING FUNCTION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09251946(A) |
申请公布日期 |
1997.09.22 |
| 申请号 |
JP19960059756 |
申请日期 |
1996.03.15 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
OTOSHI KENJI;SUGIHARA KAZUYOSHI;OGASAWARA MUNEHIRO;TAKAMATSU JUN;KOIKE TORU |
| 分类号 |
C23G5/00;C23F4/00;H01L21/027;H01L21/302;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/027 |
主分类号 |
C23G5/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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