MINUTE WORKING DEVICE,申请号JP19960190472-传众专利搜索

发明名称	MINUTE WORKING DEVICE
摘要
申请公布号	JPH09251979(A)	申请公布日期	1997.09.22
申请号	JP19960190472	申请日期	1996.07.19
申请人	NIKON CORP	发明人	YAMAMOTO TAKUMA;NAKAGIRI NOBUYUKI;NAKANO KATSUSHI;SUZUKI YOSHIHIKO
分类号	G01N37/00;B81C1/00;G01Q30/02;G01Q30/08;G01Q30/20;G01Q60/24;G01Q80/00;H01L21/302;H01L21/306;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306	主分类号	G01N37/00
代理机构		代理人
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