| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR ANALYZING CONTAMINANT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09243535(A) |
申请公布日期 |
1997.09.19 |
| 申请号 |
JP19960049394 |
申请日期 |
1996.03.07 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
AKIMORI HIROKO;JINBO TOMOKO;IMAMURA YUKINO;TSUGANE MASARU;NISHIKUBO KOMAKI;TOMIOKA HIDEKI |
| 分类号 |
G01J3/443;G01N1/28;G01N21/73;G01N27/64;H01J49/26;H01L21/66;(IPC1-7):G01N1/28 |
主分类号 |
G01J3/443 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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