| 发明名称 |
PATTERNIZING METHOD FOR FUNCTIONAL MATERIAL AND PATTERNIZED FUNCTIONAL MATERIAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09246625(A) |
申请公布日期 |
1997.09.19 |
| 申请号 |
JP19960080742 |
申请日期 |
1996.03.08 |
| 申请人 |
AGENCY OF IND SCIENCE & TECHNOL |
发明人 |
DAN NIKORAU;TAGUCHI TAKAHISA;YOSHIKAWA SUSUMU |
| 分类号 |
H01L51/05;B01J19/00;G03F7/022;G03F7/20;H01L51/30;H01L51/40;(IPC1-7):H01L51/00 |
主分类号 |
H01L51/05 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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