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发明名称 MANUFACTURE OF COMPOUND SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH09246532(A) 申请公布日期 1997.09.19
申请号 JP19960057403 申请日期 1996.03.14
申请人 FUJITSU LTD 发明人 YOSHIKAWA SHUNEI
分类号 H01L27/06;H01L21/06;H01L21/338;H01L21/8232;H01L27/095;H01L29/778;H01L29/812;(IPC1-7):H01L29/778;H01L21/823 主分类号 H01L27/06
代理机构 代理人
主权项
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