发明名称 MANUFACTURE OF STANDARD PIECE
摘要
申请公布号 JPH09246338(A) 申请公布日期 1997.09.19
申请号 JP19960094587 申请日期 1996.03.13
申请人 TAIWAN MOSHII DENSHI KOFUN YUUGENKOUSHI 发明人 CHIN KOUTSUOU;TOU GIYOKUDOU
分类号 G01N1/00;H01L21/316;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01N1/00
代理机构 代理人
主权项
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