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发明名称 METHOD FOR COATING
摘要
申请公布号 JPH09246173(A) 申请公布日期 1997.09.19
申请号 JP19960079300 申请日期 1996.03.08
申请人 CANON SALES CO INC;CANON INC 发明人 MIYAKE TAKASHI
分类号 G03F7/16;B05D3/00;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 G03F7/16
代理机构 代理人
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