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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR SCANNING EXPOSURE AND MANUFACTURE OF DEVICE BY USE OF THIS APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH09246168(A) 申请公布日期 1997.09.19
申请号 JP19960068997 申请日期 1996.03.01
申请人 CANON INC 发明人 AKAMATSU TAKAHIRO
分类号 G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
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