| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS TO FORM A THIN FILM |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH09246259(A) |
申请公布日期 |
1997.09.19 |
| 申请号 |
JP19960056212 |
申请日期 |
1996.03.13 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
SASAKI KENICHI;ITANI TSUKASA;SAKAI TSUYOSHI;YAMAGUCHI JO;KATAYAMA TOMOKO |
| 分类号 |
C23C16/44;C23C16/458;C23C16/50;H01L21/205;H01L21/285;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/31 |
主分类号 |
C23C16/44 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
