发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH09246373(A) 申请公布日期 1997.09.19
申请号 JP19960049919 申请日期 1996.03.07
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 TAMAOKI NORIHIKO;SEKIGUCHI MITSURU
分类号 H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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