发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH09246275(A) 申请公布日期 1997.09.19
申请号 JP19960075221 申请日期 1996.03.05
申请人 SONY CORP 发明人 KOBAYASHI JUNICHIRO
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/321;H01L21/306 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
地址