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发明名称 PLASMA CVD DEVICE
摘要
申请公布号 JPH09246260(A) 申请公布日期 1997.09.19
申请号 JP19960079603 申请日期 1996.03.07
申请人 KOKUSAI ELECTRIC CO LTD;HITACHI LTD 发明人 TAKEDA TOMOHIKO;WATANABE KUNIHIKO;MIYATA KIYOYUKI;TORITSUKA TAKEMI
分类号 C30B35/00;C23C16/44;C23C16/50;C23C16/505;H01L21/205;H01L21/285;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/31 主分类号 C30B35/00
代理机构 代理人
主权项
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