| 发明名称 |
METHOD FOR IMPLANTING ION |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH09246204(A) |
申请公布日期 |
1997.09.19 |
| 申请号 |
JP19960083037 |
申请日期 |
1996.03.13 |
| 申请人 |
NISSIN HIGH VOLTAGE CO LTD |
发明人 |
IWAMOTO EIJI;KIMURA TOSHIO |
| 分类号 |
H05H5/06;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01L21/265 |
主分类号 |
H05H5/06 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
