发明名称 GAS PLASMA PROCESSING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH09245936(A) 申请公布日期 1997.09.19
申请号 JP19960259147 申请日期 1996.09.30
申请人 MASUDA YOSHIKO 发明人 MASUDA SENICHI
分类号 H05H1/46;B01D53/32;B01J19/08;H01T19/00;H01T23/00;(IPC1-7):H01T23/00 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
主权项
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