| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR WAFER, SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE USING IT AND MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09246387(A) |
申请公布日期 |
1997.09.19 |
| 申请号 |
JP19960047138 |
申请日期 |
1996.03.05 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
KIKUCHI HIROSHI;SATO TOSHIHIKO |
| 分类号 |
G01R31/28;H01L21/301;H01L21/66;H01L21/82;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):H01L21/82 |
主分类号 |
G01R31/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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