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发明名称
EXPOSURE DEVICE
摘要
申请公布号
JPH09244257(A)
申请公布日期
1997.09.19
申请号
JP19960053378
申请日期
1996.03.11
申请人
SANEE GIKEN KK
发明人
MIYAKE EIICHI
分类号
G02F1/1333;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/20;G02F1/133
主分类号
G02F1/1333
代理机构
代理人
主权项
地址
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