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发明名称 METHOD FOR HIGH CONCENTRATION DIFFUSING DOPANT IN SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH09246199(A) 申请公布日期 1997.09.19
申请号 JP19960075354 申请日期 1996.03.05
申请人 SONY CORP 发明人 MAKITA KAZUAKI
分类号 H01L21/316;H01L21/22;H01L21/225;H01L21/761;(IPC1-7):H01L21/22 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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