| 发明名称 |
METHOD FOR FORMING POLYCRYSTAL THIN FILM, POLYCRYSTAL THIN FILM FORMATION DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING THIN FILM TRANSISTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09246181(A) |
申请公布日期 |
1997.09.19 |
| 申请号 |
JP19960045265 |
申请日期 |
1996.03.04 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
TSUTSU HIROSHI;FURUTA MAMORU;YOSHIOKA TATSUO;MIYATA YUTAKA |
| 分类号 |
H01L21/20;H01L21/268;H01L21/336;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/20 |
主分类号 |
H01L21/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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