| 发明名称 |
BOAT FOR APPARATUS OF LIQUID PHASE EPITAXIAL GROWTH AND METHOD FOR CRYSTAL GROWING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09246197(A) |
申请公布日期 |
1997.09.19 |
| 申请号 |
JP19960057162 |
申请日期 |
1996.03.14 |
| 申请人 |
NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> |
发明人 |
AMANO TOSHIMASA;UEKI MINEO;ITAYA YOSHIO |
| 分类号 |
C30B19/06;H01L21/208;(IPC1-7):H01L21/208 |
主分类号 |
C30B19/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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