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发明名称 PROBE STRUCTURE
摘要
申请公布号 JPH09243665(A) 申请公布日期 1997.09.19
申请号 JP19960050604 申请日期 1996.03.07
申请人 NITTO DENKO CORP 发明人 MORI YOSHIHISA;MAEDA MASAKO
分类号 G01R31/26;G01R1/073;H01L21/66;(IPC1-7):G01R1/073 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
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