| 发明名称 |
SUPPORT DE SUBSTRATS POUR INSTALLATION D'EVAPORATION |
| 摘要 |
<P>L'invention concerne un support de substrats (7) de forme concave destiné à une installation d'évaporation, constitué d'une surface sensiblement pleine et pourvu de moyens élastiques (26) de maintien de substrats (7) positionnés contre une face intérieure (25) du support (20). Les moyens de maintien (26) sont actionnables depuis une face externe (24) du support (20).</P> |
| 申请公布号 |
FR2746115(A1) |
申请公布日期 |
1997.09.19 |
| 申请号 |
FR19960003470 |
申请日期 |
1996.03.15 |
| 申请人 |
SGS THOMSON MICROELECTRONICS |
发明人 |
GENARD DOMINIQUE;PINSAULT GEORGES |
| 分类号 |
C23C14/50 |
主分类号 |
C23C14/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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