| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE AND ITS MANUFACTURE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH09246537(A) |
申请公布日期 |
1997.09.19 |
| 申请号 |
JP19960049727 |
申请日期 |
1996.03.07 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
MASUDA HIROO;SATO HISAKO;NAKAMURA TAKAHIDE;TSUNENO KATSUMI;AOYAMA JINKO;KUNITOMO HISAAKI |
| 分类号 |
H01L21/336;H01L21/8238;H01L27/092;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78;H01L21/823 |
主分类号 |
H01L21/336 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
