| 发明名称 |
CHARGED PARTICLE REMOVING MECHANISM USING A PLURALITY OF ELECTRODES OF RADICAL SOURCE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09245995(A) |
申请公布日期 |
1997.09.19 |
| 申请号 |
JP19960071284 |
申请日期 |
1996.03.01 |
| 申请人 |
NISSIN ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
FUJITA HIDEKI;ADACHI AKIRA |
| 分类号 |
H05H3/02;H01J27/18;H01J37/08;(IPC1-7):H05H3/02 |
主分类号 |
H05H3/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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