发明名称 |
ANTIREFLECTION COMPOSITION AND FORMATION OF PHOTOSENSITIVE FILM USING THE SAME |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH09244238(A) |
申请公布日期 |
1997.09.19 |
申请号 |
JP19960056314 |
申请日期 |
1996.03.13 |
申请人 |
MITSUBISHI CHEM CORP |
发明人 |
NISHI MINEO;TERAMOTO MASASHI |
分类号 |
G03F7/004;G03F7/11;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/004 |
主分类号 |
G03F7/004 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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