| 发明名称 |
APPARATUS FOR INSPECTING SURFACE OF SUPPORT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09243572(A) |
申请公布日期 |
1997.09.19 |
| 申请号 |
JP19960054383 |
申请日期 |
1996.03.12 |
| 申请人 |
HITACHI DENSHI LTD;KONICA CORP |
发明人 |
WATANUKI AKIO;ISHIMOTO KIYOSHI |
| 分类号 |
G01N21/89;G01N21/892;(IPC1-7):G01N21/89 |
主分类号 |
G01N21/89 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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