| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMIICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS52119864(A) |
申请公布日期 |
1977.10.07 |
| 申请号 |
JP19760036004 |
申请日期 |
1976.04.02 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
TAKAHASHI SHIGERU;SAIKI ATSUSHI;OOKUBO TOSHIO;YAMANAKA KAZUSUKE;MUKAI KIICHIROU;HARADA TADAYOSHI |
| 分类号 |
H01L21/768;H01L21/31;H01L21/312;H01L23/522 |
主分类号 |
H01L21/768 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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