| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09246288(A) |
申请公布日期 |
1997.09.19 |
| 申请号 |
JP19960083372 |
申请日期 |
1996.03.12 |
| 申请人 |
SONY CORP |
发明人 |
YANAJIMA KATSUNORI;ISHIBASHI AKIRA |
| 分类号 |
H01L21/28;H01L21/203;H01L21/363;H01L29/43;H01S5/00;(IPC1-7):H01L21/363;H01S3/18 |
主分类号 |
H01L21/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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