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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH09246390(A) 申请公布日期 1997.09.19
申请号 JP19960047742 申请日期 1996.03.05
申请人 YAMAHA CORP 发明人 SUGANO SATOSHI
分类号 H01L21/822;H01L21/82;H01L27/04;(IPC1-7):H01L21/82 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
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