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发明名称 IONSHOSHASOCHI
摘要
申请公布号 JP2655146(B2) 申请公布日期 1997.09.17
申请号 JP19870182794 申请日期 1987.07.22
申请人 RIKAGAKU KENKYUSHO 发明人 HARA TAMIO;HAMAGAKI MANABU;AOYANAGI KATSUNOBU;NANBA SUSUMU
分类号 H01J37/317;H01L21/285;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01J37/317;H01L21/306 主分类号 H01J37/317
代理机构 代理人
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