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发明名称 IONCHUNYUSOCHIOYOBIHOHO
摘要
申请公布号 JP2654004(B2) 申请公布日期 1997.09.17
申请号 JP19860259605 申请日期 1986.10.29
申请人 JENERARU EREKUTORITSUKU CO 发明人 NIIRU ROBAATO JETSUTA
分类号 H01L21/265;H01J37/317;H01L21/425;(IPC1-7):H01J37/317 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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