发明名称 HANDOTAISOCHINOSEIZOHOHO
摘要
申请公布号 JP2653679(B2) 申请公布日期 1997.09.17
申请号 JP19880216717 申请日期 1988.08.30
申请人 FUJITSU KK 发明人 TAKEI MICHIKO
分类号 H01L29/78;H01L21/22;H01L21/225;H01L21/336;(IPC1-7):H01L21/225 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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