Method and apparatus for neutralising space charge in an ion beam,申请号GB19970014576-传众专利搜索

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发明名称	Method and apparatus for neutralising space charge in an ion beam
摘要
申请公布号	GB9714576(D0)	申请公布日期	1997.09.17
申请号	GB19970014576	申请日期	1997.07.10
申请人	APPLIED MATERIALS INC	发明人
分类号	C23C14/48;H01J27/02;H01J37/08;H01J37/317;H01L21/265	主分类号	C23C14/48
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