| 发明名称 |
PURINTOKIBANNOHAISENKETSUKANKENSASOCHI |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JP2655060(B2) |
申请公布日期 |
1997.09.17 |
| 申请号 |
JP19930322524 |
申请日期 |
1993.12.21 |
| 申请人 |
NIPPON DENKI KK |
发明人 |
SAKAGUCHI KAZUHIRO;FUTAGAWA KYOSHI;KASAKURA TAKEYO |
| 分类号 |
G01R31/02;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/02 |
主分类号 |
G01R31/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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