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发明名称 GETTER PUMP MODULE AND SYSTEM
摘要
申请公布号 EP0795084(A2) 申请公布日期 1997.09.17
申请号 EP19950943637 申请日期 1995.11.30
申请人 SAES PURE GAS, INC. 发明人 KRUEGER, GORDON, P.;LORIMER, D'ARCY, H.;CARELLA, SERGIO;CONTE, ANDREA
分类号 C23C14/54;C23C14/56;F04B37/02;F04B37/08;F04B37/14;F04B37/16;H01J9/38;H01L21/00;H01L21/02;H01L21/20;(IPC1-7):F04B37/02 主分类号 C23C14/54
代理机构 代理人
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