发明名称 ENSHINDATSUSUIKI
摘要
申请公布号 JP2655455(B2) 申请公布日期 1997.09.17
申请号 JP19910120613 申请日期 1991.05.27
申请人 NIPPON DENKI KK 发明人 NARUTOMI YASUO
分类号 F26B5/08;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 F26B5/08
代理机构 代理人
主权项
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