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发明名称 HANDOTAISOCHIOYOBISONOSEIZOHOHO
摘要
申请公布号 JP2654536(B2) 申请公布日期 1997.09.17
申请号 JP19930318867 申请日期 1993.12.20
申请人 NIPPON DENKI KK 发明人 MATSUOKA AKIO
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L21/8224;H01L21/8228;H01L27/082;H01L29/732;(IPC1-7):H01L21/331;H01L21/822 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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